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【图文导读】图1 用于高密度弹性电路的单片光学微光刻图2双网络介导的导电聚合物的直接光学光刻技术图3 卡本介导的半导体和绝缘聚合物的直接光学光刻技术 图4 单片光学微光刻制造的高密度、生产所需高度均匀的弹性晶体管阵列 图5 弹性功能电路文献链接:生产所需Monolithicopticalmicrolithographyofhigh-densityelasticcircuits(Science,2021,DOI:10.1126/science.abh3551)本文由木文韬翻译,材料牛整理编辑。此外,气及还引入了紫外敏感的聚乙二醇二甲基丙烯酸酯(PEGDMA)来实现化学未改性的导电聚合物的双网络介导的直接光刻。
但是,电力传统的光刻技术不能适应聚合电子材料(如半导体和导体)的微/纳米加工,因为光刻技术中使用的光刻胶与活性聚合电子材料缺乏化学正交性。相对于传统的刚性电子器件(如硅基器件),稳定弹性电子器件由于器件密度低,目前在并行信号记录和处理方面受到限制。
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